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          VOCs废气处理半导体工艺。

          文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2021-09-02 10:29【

          随着科技的不断发展,大气污染也不断增加,那么在废气处理中,VOCs将越来越多人加以重视,那么,就让正州环保来认识一下这个环保新宠吧。

           

          半导体行业作为一个高科技行业,往往被误解为清洁行业。但实际上,半导体生产过程中使用了大量的有机物和无机物,包括许多有毒有害物质,对环境造成了严重的危害。如果废气尾气废气处理设备得到控制,就会造成很大的环境污染。

           

          VOCs废气处理半导体工艺。

           VOCs

          半导体行业的有机废气主要来源于清洗、均胶、去胶、刻蚀和显影工艺,其中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂含有大量的有机成分,主要成分是异丙醇、光刻胶等有机成分。在工艺过程中,这些有机溶剂大多挥发成废气排放。

           

          挥发性有机气体(VolatileOrganiccompound),简称VOCs,由于VOCs具有渗透、脂溶、挥发等功能,对人体有很大的直接影响,人体与VOCs接触或通过呼吸进入人体,可能对人体的呼吸道、肺、神经系统、肾脏等造成危害,因此务必经过处理后才能直接排入大气。

           

          目前,这种气体排放一般采用吸附、焚烧或两者结合的处理方法。吸附式尾气处理设备LocalScrubber首先对有机溶剂废气进行吸附处理,然后进入处理系统centralscrubber进行二次处理,然后排入大气。

           

          吸附是利用多孔固体吸附剂处理混合气体,使其中所含的一种或多种成分吸附在固体表面,达到分离的目的。吸附剂选择性高,可以分离其他过程中难以分离的混合物,有效去除(或回收)浓度低的有害物质,净化效率高,设备简单,操作方便,自动控制。

          吸附式尾气处理设备WFS-100A可处理气体。

           

          上述,是对半导体工艺中有机溶剂(VOCs)尾气及尾气处理设备的简单介绍,谢谢阅读!

           

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          此文关键字:VOCs

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