随着科技的不断发展，大气污染也不断增加，那么在废气处理中，VOCs将越来越多人加以重视，那么，就让正州环保来认识一下这个环保新宠吧。

半导体行业作为一个高科技行业，往往被误解为清洁行业。但实际上，半导体生产过程中使用了大量的有机物和无机物，包括许多有毒有害物质，对环境造成了严重的危害。如果废气尾气废气处理设备得到控制，就会造成很大的环境污染。

VOCs废气处理半导体工艺。

半导体行业的有机废气主要来源于清洗、均胶、去胶、刻蚀和显影工艺，其中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂含有大量的有机成分，主要成分是异丙醇、光刻胶等有机成分。在工艺过程中，这些有机溶剂大多挥发成废气排放。

挥发性有机气体(VolatileOrganiccompound)，简称VOCs，由于VOCs具有渗透、脂溶、挥发等功能，对人体有很大的直接影响，人体与VOCs接触或通过呼吸进入人体，可能对人体的呼吸道、肺、神经系统、肾脏等造成危害，因此务必经过处理后才能直接排入大气。

目前，这种气体排放一般采用吸附、焚烧或两者结合的处理方法。吸附式尾气处理设备LocalScrubber首先对有机溶剂废气进行吸附处理，然后进入处理系统centralscrubber进行二次处理，然后排入大气。

吸附是利用多孔固体吸附剂处理混合气体，使其中所含的一种或多种成分吸附在固体表面，达到分离的目的。吸附剂选择性高，可以分离其他过程中难以分离的混合物，有效去除(或回收)浓度低的有害物质，净化效率高，设备简单，操作方便，自动控制。

吸附式尾气处理设备WFS-100A可处理气体。

上述，是对半导体工艺中有机溶剂(VOCs)尾气及尾气处理设备的简单介绍，谢谢阅读！

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